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| 과제번호 | S3273497 |
|---|---|
| 과제명 | 수kV급 고전력분야용 SiC 전력반도체 계면결함감소를 위한 저온, 고밀도 Radical 산화 장비 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)이큐테크플러스 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 499,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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