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과제번호 S2831513
과제명 반도체 에칭 공정용 C-RING 국산화를 위한 고경도 주상정 실리콘 제조 및 이를 이용한 가공기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
주관기관명 주식회사린텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 565,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료
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