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과제번호 S2829243
과제명 COS Gas 고순도 정제시설 국산화
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
주관기관명 티이엠씨
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료
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