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과제번호 S2788271
과제명 실리콘 반도체 금속촉매습식식각 (MACE) 공정개발
사업명 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트)
공고명 2019년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 2차 공고
세부공고명 (하반기 본선)2019년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 2차 공고
주관기관명 금오공과대학교산학협력단
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 30,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> MEMS 소자
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