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| 과제번호 | S3006641 |
|---|---|
| 과제명 | 감압 겔캐스팅 공정을 이용한 300mm급 웨이퍼 에칭용 알루미나 정전척 베이스 제조 기술 개발 |
| 사업명 | 지역주력산업육성 |
| 공고명 | 2020년도 지역특화산업육성+(R&D) - 지역주력산업육성 3차 지원계획 수정 공고 |
| 세부공고명 | 2020년도 지역특화산업육성+(R&D) - 지역주력산업육성 3차 지원계획 수정 공고 |
| 주관기관명 | (주)에이티엠 |
| 관리기관명 | 재단법인 강원지역산업진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 160,000,000 |
| 과제상태 | KIAT 보통 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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