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과제번호 S3454174
과제명 반도체/디스플레이 CVD/ETCH 공정의 절대가스량 측정을 위한 소형 TOF-MS 및 Inlet module개발
사업명 고경력연구인력채용지원(참여기업접수용)
공고명 2025년 중소기업 연구인력지원사업(채용, 고경력)공고
세부공고명 2025년 중소기업 연구인력지원사업(채용, 고경력) 공고
주관기관명 주식회사이엘
관리기관명 한국산업기술진흥협회
전문기관명 한국산업기술진흥협회
정부출연금 75,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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