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과제번호 S2369853
과제명 나노급 분석 장비를 위한 위치 결정 스테이지 및 고진공 환경 신뢰성 확보 기술 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2016년도 중소기업 기술혁신개발사업 투자연계과제 시행계획 공고
세부공고명 2016년도 중소기업 기술혁신개발사업 투자연계과제 시행계획 공고
주관기관명 브이에이디인스트루먼트
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 595,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 로봇/자동화기계 >> 조립/정밀 이송기술
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