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과제번호 S0071338
과제명 고집적 메모리소자용 코발트/코발트실리사이드 전구체 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2003년도 중소기업기술혁신개발사업 중 전략과제 지원계획 공고
세부공고명 한국발명진흥회 과제 (마이그레이션 맵핑용)
주관기관명 주식회사 메카로
관리기관명 한국발명진흥회
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 80,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 박막제조기술
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