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과제번호 S2658856
과제명 플라즈마 세정장치가 결합된 초저온 현미경 Holder용 Dry Pumping Station 개발
사업명 첫걸음기술개발사업(포인트)
공고명 2018년 산학연협력 기술개발사업(첫걸음협력) 시행계획 공고
세부공고명 2018년 산학연협력 기술개발사업(첫걸음) 2차
주관기관명 (주)와이엔디케이
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 51,959,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 
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