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과제번호 S3430258
과제명 반도체 산업의 대전방지를 위한 이산화탄소가스(CO2) 분산 기술을 이용한 극초순수 세정 장비 국산화 기술개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2024년도 중소기업기술혁신개발사업(구매연계-소재부품장비 분야) 자유공모 시행계획 공고
세부공고명 2024년도 중소기업기술혁신개발사업(구매연계-소재부품장비 분야) 자유공모 시행계획 공고
주관기관명 (주)나우이엔지
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 570,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 산업/일반기계 >> 기타 산업/일반기계 관련기술
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