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과제번호 S2144677
과제명 100nm급 구조물 대면적 자동화 제작을 위한 탐침기반 나노공정장비 개발
사업명 창업과제-건강진단연계
공고명 2013년도 건강진단연계형 창업성장기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 건강진단연계형 창업성장기술개발사업(7월)
주관기관명 프로브스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 171,080,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 
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