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과제번호 C0206210
과제명 전자현미경용 미세나노가공기 Dual ION Gun시제품 업그레이드 개발시험 및 시제품 신뢰성 시험 개발
사업명 연구장비 공동활용지원사업
공고명 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고
세부공고명 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고(참여기업)
주관기관명
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 
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