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| 과제번호 | S3302091 |
|---|---|
| 과제명 | Tenting 공법에 의한 초미세 기판용 비접촉식 수직 에칭기의 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 주식회사 지씨이 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 410,973,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 에칭기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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